特許

J-GLOBAL ID：200903053071624503

マスキング材

発明者： 加藤 修 ,  坪田 富久治
出願人/特許権者： 日東シンコー株式会社
代理人 (1件)： 澤 喜代治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058324
公開番号（公開出願番号）：特開2000-256861
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月19日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】セパレータを、弱い力で、簡単に、且つ迅速に剥離できる上、ワークの表面処理後の粘着シート剥離時に非粘着面形成用シートがワークに残留しないようにした、マスキング材。【解決手段】片面に粘着面1cを有するシート状又はテープ状の粘着材1と、この粘着面1cに部分的に貼着された非粘着面形成用シート2と、この非粘着面形成用シート2を覆うように前記粘着材1に貼着されるセパレータ3とを備える、マスキング材。

請求項（抜粋）：

片面に粘着面を有するシート状又はテープ状の粘着材と、この粘着面に部分的に貼着された非粘着面形成用シートと、この非粘着面形成用シートを覆うように前記粘着材に貼着されるセパレータとを備えることを特徴とするマスキング材。

IPC (5件)：

C23C 18/06 ,  C23F 1/00 102 ,  C25D 5/02 ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/027

FI (5件)：

C23C 18/06 ,  C23F 1/00 102 ,  C25D 5/02 D ,  G03F 7/42 ,  H01L 21/30 577

Fターム (29件)：

2H096AA30 ,  2H096LA30 ,  4K022AA02 ,  4K022AA12 ,  4K022AA13 ,  4K022CA08 ,  4K022CA25 ,  4K022CA27 ,  4K022DA06 ,  4K022EA03 ,  4K024AB08 ,  4K024BA01 ,  4K024BA12 ,  4K024BA15 ,  4K024BB09 ,  4K024DB09 ,  4K024EA07 ,  4K024FA10 ,  4K024FA11 ,  4K024FA12 ,  4K057WA12 ,  4K057WB01 ,  4K057WB20 ,  4K057WC10 ,  4K057WD10 ,  4K057WK01 ,  4K057WN01 ,  5F046LB10 ,  5F046NA19