特許
J-GLOBAL ID：200903053081651177
高周波装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井島 藤治 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-289890
公開番号（公開出願番号）：特開平9-134800
出願日： 1995年11月08日
公開日（公表日）： 1997年05月20日
要約：
【要約】【課題】 ロスタイムなく短時間にマッチングを取ることができる高周波装置を実現する。【解決手段】 コイル6の両端の電流を検出し、計算器18によって負荷インピーダンスの値を求める。この値は制御回路13に供給され、制御回路13は各コンデンサ4,5の最適位置を求める。制御回路13は求めた最適位置にコンデンサ4,5を一致させるように、モータ9,11を駆動する。この結果、各コンデンサの容量はラフに調整される。次に、比較回路は反射率の値と所定値とを比較し、反射率が所定値以下の場合には、スイッチ14,16を切り換えて、制御回路13からの信号はパルス駆動回路21に供給され、各モータ9,11はパルス駆動回路21によって駆動される。
請求項（抜粋）：
高周波電源と、高周波電源からの高周波電力が供給される負荷と、電源と負荷との間に配置され、マッチング可変コンデンサとチューニング可変コンデンサとコイルとから成るマッチングボックスと、電源とマッチングボックスとの間に設けられた入力インピーダンスと入力高周波の電圧と電流との位相を検出する検出器とを備え、検出器により検出されたインピーダンスに応じてマッチング可変コンデンサの容量を調整し、検出器により検出された位相に応じてチューニング可変コンデンサの容量を調整するように構成した高周波装置において、高周波の反射電力(Pr)と入射電力(Pf)との比(Pr/Pf)を求め、この比が所定の値以下の場合には各可変コンデンサをパルス駆動させるように構成した高周波装置。
IPC (5件)：
H05H 1/46
, C23C 14/40
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H03H 7/40
H05H 1/46 R
, C23C 14/40
, C23F 4/00 A
, H03H 7/40
, H01L 21/302 B
