特許

J-GLOBAL ID：200903053089204102

光学要素の支持手段、該光学要素の支持手段による光学系、露光装置等の光学装置、デバイス製造方法

発明者： 須藤 裕次
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 長尾 達也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-251510
公開番号（公開出願番号）：特開2004-093663
出願日： 2002年08月29日
公開日（公表日）： 2004年03月25日
要約：

【課題】レンズ等の光学要素に加える外力を減らし、光学要素を確実に固定することが可能となる光学要素の支持手段、該光学要素の支持手段による光学系、露光装置等の光学装置、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】光学素子の外周部を支持する第一の支持部材と、該第一の支持部材の外径側に位置し該第一の支持部材を支持する第二の支持部材とを備え、該第一の支持部材を該第二の支持部材に対して、光軸と直交する面内方向に固定する連結部材と、光軸方向に押圧する弾性部材とを有する構成とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

光学素子の外周部を支持する第一の支持部材と、該第一の支持部材の外径側に位置し該第一の支持部材を支持する第二の支持部材とを備え、 該第一の支持部材と該第二の支持部材との間に、該第一の支持部材を光軸と直交する面内方向に固定する連結部材と、該第一の支持部材を光軸方向に押圧する弾性部材とを有することを特徴とする光学要素の支持手段。

IPC (4件)：

G02B7/02 ,  G02B7/00 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

FI (6件)：

G02B7/02 E ,  G02B7/02 A ,  G02B7/02 Z ,  G02B7/00 F ,  G03F7/20 521 ,  H01L21/30 515D

Fターム (7件)：

2H043AE04 ,  2H043AE17 ,  2H043AE23 ,  2H044AA02 ,  2H044AE01 ,  2H044AJ04 ,  5F046CB01