特許

J-GLOBAL ID：200903053089605832

研磨シート及び方法

発明者： 丸川 隆文 ,  泉 敏裕 ,  小林 俊裕
出願人/特許権者： 日本ミクロコーティング株式会社
代理人 (1件)： 竹内 澄夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-279632
公開番号（公開出願番号）：特開2002-086348
出願日： 2000年09月14日
公開日（公表日）： 2002年03月26日
要約：

【要約】【課題】表面のドレス作業を不要とし、使用時間の経過とともに変形せず、砥粒や研磨クズによる目詰まりのない、研磨対象物表面を高度に平坦化できる研磨パッド及び方法を提供することである。【解決手段】布シートをベースシート上に貼り付けた研磨パッド10。ノズルNを通じて、回転定盤D上に貼り付けた研磨パッド10の表面に研磨液を供給し、回転ヘッドHに吸着した研磨対象物11を研磨パッド10の表面に押し付ける研磨方法。

請求項（抜粋）：

布シート、及びこの布シートを貼り付けるベースシート、から成る研磨シート。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B24B 7/07 ,  B24D 11/00 ,  H01L 21/304 622

FI (4件)：

B24B 37/00 C ,  B24B 7/07 ,  B24D 11/00 A ,  H01L 21/304 622 F

Fターム (19件)：

3C043BA05 ,  3C043CC05 ,  3C058AA06 ,  3C058AA09 ,  3C058AA11 ,  3C058AA16 ,  3C058AC04 ,  3C058CB01 ,  3C058DA13 ,  3C058DA17 ,  3C063AA06 ,  3C063AB07 ,  3C063BA28 ,  3C063BE03 ,  3C063BG08 ,  3C063BG22 ,  3C063BH07 ,  3C063EE10 ,  3C063EE26

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭55-090263
  
• シリコン用研磨液組成物および研磨方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-120550   出願人：株式会社神戸製鋼所