研磨装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丸島儀一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-274368
公開番号（公開出願番号）：特開平11-114792
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月27日
要約：

【要約】【課題】被研磨体の被研磨面を研磨する研磨フィルムと被研磨体との間に均一に砥粒が供給された状態で被研磨体の被研磨面を研磨する。【解決手段】砥粒を有する帯状研磨フィルム8を有した研磨ヘッド4に被研磨体1を当接させて研磨する。

請求項（抜粋）：

被研磨体を研磨するための研磨ヘッドと、前記被研磨体を保持するための被研磨体保持手段と、を有し、前記研磨ヘッドの面が前記被研磨体保持手段に対向して配置される研磨装置において、前記研磨ヘッドは、砥粒を有する帯状研磨フィルムを前記面に供給する帯状研磨フィルム供給手段と、前記帯状研磨フィルムを前記面から回収する帯状研磨フィルム回収手段と、を有することを特徴とする研磨装置。

IPC (2件)：

B24B 21/00 , H01L 21/304 321

FI (2件)：

B24B 21/00 A , H01L 21/304 321 E

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