特許

J-GLOBAL ID：200903053108400660

対物レンズ、電子線装置及び欠陥検査方法

発明者： 中筋 護 ,  佐竹 徹
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (6件)： 社本 一夫 ,  千葉 昭男 ,  星野 修 ,  神田 藤博 ,  内田 博 ,  宮前 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156386
公開番号（公開出願番号）：特開2005-339960
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】電子線を試料上に結像させる対物レンズにおいてレンズ動作を行うのに必要なAT数及び磁極内の磁束密度が大きくならないようにする。 【解決手段】対物レンズの内側磁極及び外側磁極が作る磁気ギャップが試料側に形成され、上記磁気ギャップを形成している内側磁極及び外側磁極のそれぞれ外側面及び内側面は光軸とのなす角が45度以上の頂角を有する円錐の一部の形状を有し、且つ、これらの磁極の試料付近の断面形状が90 ゚以上の角度を有する事を特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

電子線を試料上に結像させる対物レンズであって、光軸側の内側磁極及びこれに対向する外側磁極が作る磁気ギャップが試料側に形成され、上記磁気ギャップを形成している内側磁極及び外側磁極のそれぞれ外側面及び内側面は光軸とのなす角が45度以上の頂角を有する円錐の一部の形状を有し、且つ、これらの磁極の試料付近の断面形状が90 ゚以上の角度を有する事を特徴とする対物レンズ。

IPC (5件)：

H01J37/141 ,  H01J37/147 ,  H01J37/28 ,  H01J37/29 ,  H01L21/66

FI (5件)：

H01J37/141 A ,  H01J37/147 B ,  H01J37/28 B ,  H01J37/29 ,  H01L21/66 J

Fターム (11件)：

4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA02 ,  4M106CA39 ,  4M106DB05 ,  4M106DB12 ,  4M106DB18 ,  4M106DH33 ,  5C033DD09 ,  5C033FF08 ,  5C033JJ05