特許
J-GLOBAL ID：200903053110279843
ドライエッチング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
井出 直孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-062516
公開番号（公開出願番号）：特開平5-267238
出願日： 1992年03月18日
公開日（公表日）： 1993年10月15日
要約：
【要約】【目的】 エッチング終点検出手段を有するドライエッチング装置において、複数のエッチング条件においてエッチング終点検出を可能とする。【構成】 モーター6の駆動により任意に波長を選択できる分光器2aを用い、複数の各エッチング条件ごとに選択すべき波長が設定してあるコンピュータ5により制御装置4aおよびモーター6を介して分光器2aを制御し、自動的に、波長選択を行い、各エッチング条件ごとのエッチング終点を検出する。
請求項（抜粋）：
プラズマ発生手段を含むエッチング装置と、プラズマ中の特定波長の光の強度によりエッチング終点を検出し制御を行うエッチング終点検出手段とを備えたドライエッチング装置において、前記エッチング終点検出手段は、前記プラズマ中の任意の波長の光を前記特定波長の光として設定する手段、およびこの設定された波長の光を自動的に検出する手段を含むことを特徴とするドライエッチング装置。
IPC (3件)：
H01L 21/302
, H05H 1/00
, H05H 1/46
