特許
J-GLOBAL ID：200903053112210891
バリヤリブの形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大垣 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-094527
公開番号（公開出願番号）：特開平6-310033
出願日： 1993年04月21日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】【目的】 製造工程の回数の低減を可能にし、同時にマスク合わせも容易なバリヤリブの形成方法を提供する。【構成】 この発明のバリヤリブの形成方法によれば、ガス放電型表示パネルのセル空間を画成するとき、バリヤリブとプライミングスリットとを一回のサンドブラスト工程により実質的に同時に形成する。すなわち、先ず、レジストマスク39形成時に、このレジストマスクの一部分に、サンソブラストに対して破壊され易い領域、すなわち弱耐性領域35を作り込む。このとき弱耐性領域を誘電体層32の表面を露出する複数の穴を形成する領域とする。続いて、弱耐性領域を有するレジストマスクを用いて誘電体層に一回のサンドブラスト工程によりバリヤリブとプライミングスリットとを形成する。その後、バリヤリブの表面に残存しているレジストマスクを除去する。
請求項（抜粋）：
ガス放電型表示パネルのセル空間を画成するバリヤリブとプライミングスリットとをサンドブラスト法を用いて形成するに当たり、前記バリヤリブと前記プライミングスリットとを一回のサンドブラスト工程により実質的に同時に形成することを特徴とするバリヤリブの形成方法。
IPC (2件)：
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