特許

J-GLOBAL ID：200903053114321089

機能性堆積膜の連続的形成装置および形成方法

発明者： 藤岡 靖
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-042885
公開番号（公開出願番号）：特開平6-260419
出願日： 1993年03月03日
公開日（公表日）： 1994年09月16日
要約：

【要約】【構成】 ロール・ツー・ロール方式の堆積膜形成装置に、帯状基板の移動を間欠的に行なう手段、帯状基板停止時に密着する温度制御部材および帯状基板と温度制御部材との間欠的密着を行なう手段を配設し、機能性堆積膜形成を連続的に行なう。【効果】 本発明の装置および方法により、低圧下で堆積膜形成時の帯状基板温度を高精度に制御しながら、多様な形状の堆積膜空間中で、多様な形状の帯状基板上に、均一な堆積膜を連続的に形成することができる。

請求項（抜粋）：

移動する帯状基板上に成膜する機能性堆積膜の連続的形成装置において、(1)帯状基板を該帯状基板の長手方向に間欠的に移動させる間欠的移動手段、(2)該帯状基板の成膜面の裏面側に配設され、温度制御された温度制御部材および(3)該帯状基板と該温度制御部材とを、該帯状基板の停止時に密着させ移動時に分離させる間欠的密着手段を有することを特徴とする機能性堆積膜の連続的形成装置。