特許

J-GLOBAL ID：200903053124539279

真空ピンセット

発明者： 芦澤 典子
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-187710
公開番号（公開出願番号）：特開平11-026554
出願日： 1997年06月27日
公開日（公表日）： 1999年01月29日
要約：

【要約】【課題】ウェハ等吸着物に反り及びたわみがある場合にも、吸着物を吸着パッドで良好に密着させ、安定した保持を可能とし、操作性、信頼性を特段に向上する真空ピンセットの提供。【解決手投】樹脂等よりなる第一吸着平面部4を有する第一吸着パッド2と、第一吸着パッドの外周を囲繞するように設けられ可撓性部材よりなる第二吸着平面部5を有する第二吸着パッド3と、を備え、第一吸着パッドは、第一吸引凹部6を有し、吸引時に該第一吸引凹部が負圧とされ、第二吸着パッド2は、第一吸引凹部6に連通してなる第二吸引凹部7を備え、吸引時に第二吸引凹部も負圧とされる。

請求項（抜粋）：

平面部を有する第一吸着パッドと、前記第一吸着パッドの外周に設けた可撓性の第二吸着パッドと、を備えて構成されてなることを特徴とする真空ピンセット。

IPC (3件)：

H01L 21/68 ,  B25B 11/00 ,  B25J 15/06

FI (3件)：

H01L 21/68 B ,  B25B 11/00 A ,  B25J 15/06 J