特許
J-GLOBAL ID：200903053133555643
発光薄膜作製方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田宮 寛祉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-059777
公開番号（公開出願番号）：特開平5-222533
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【目的】 従来の微結晶作製方法とは全く異なる方法で作製される微結晶構造を有する薄膜であって、且つ微結晶を制御良く作製でき、微結晶のサイズ及び形態を連続的に変化させることができ、発光波長の幅を高い自由度で制御する。【構成】 酸化マグネシウム(MgO)等のアリカリ土類金属からなる酸化物1の(111)面の上に、Si、Ge、SiGe混晶系のうちのいずれかの堆積層2を形成する。更に、100オングストローム以上1ミクロン以下の膜厚を有する。
請求項（抜粋）：
アルカリ土類金属の(111)面の上に、シリコン、ゲルマニウム、これらの混晶系のうちのいずれかの堆積層を形成したことを特徴とする発光薄膜作製方法。
IPC (3件)：
C23C 16/22
, C23C 16/44
, H01L 21/20
