特許
J-GLOBAL ID：200903053134357098
位置決め装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
筒井 秀隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-170746
公開番号（公開出願番号）：特開平5-104401
出願日： 1991年06月14日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 テーブル上のワークを非接触でかつ複雑な演算処理を行うことなく高精度に位置決めできる位置決め装置を提供すること。【構成】 ワーク5を載置した可動テーブル1は3個の直動式アクチュエータ2〜4によって任意の方向に移動可能である。各アクチュエータに対応してワーク5の位置決め用マーク6〜8を非接触で読み取るセンサ9〜11が設置され、各センサおよびアクチュエータに対応してコントローラ手段12〜14が設けられている。コントローラ手段は現時点におけるセンサの出力値とワークの基準位置が目標位置に到達した時のセンサの出力値との差から各アクチュエータに動作指令を与え、各アクチュエータを独立してフィードバック制御する。
請求項（抜粋）：
ワークを載置した可動テーブルと、可動テーブルを少なくとも3軸方向に動作させるための3個以上の直動式アクチュエータと、各軸に1個以上設けられ、可動テーブル上に置かれたワークの基準位置を非接触で読み取るセンサと、各軸のセンサおよびアクチュエータに対応して設けられ、現時点におけるセンサの出力値とワークの基準位置が目標位置に到達した時のセンサの出力値との差から各アクチュエータに動作指令を与えるコントローラ手段と、を備えたことを特徴とする位置決め装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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