ガーネット結晶光導波路およびその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：谷義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-165047
公開番号（公開出願番号）：特開平6-003547
出願日： 1992年06月23日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：

【要約】【目的】低損失接続された機能性と受動性とを併せ持つガーネット結晶光導波路を提供する。【構成】機能光導波路部1Aと受動光導波路1Bを有するガーネット結晶光導波路1は一般式R3 B5 O12(RはY、La、Biおよび3価の価数を有する希土類元素のいずれか一種を表し、BはFe、Ga、Al、Scのいずれか一種を表す)で示されるガーネットまたは前記ガーネットの酸素以外の構成元素の一部を等価な価数を有する一種以上の元素で置き換えた置換型ガーネットの結晶を用い、基板2上に非磁性で蛍光を示さないガーネット結晶膜の下部クラッド層3を設け、この下部クラッド層上に所定の寸法を有し光軸が一致した、組成の異なるガーネット結晶のコア層5,7からなるコア部と、このコア部に非磁性で蛍光を示さないガーネット結晶膜の上部クラッド層8とを設ける。コア層を形成する際に白金、Irのマスクを使用する。

請求項（抜粋）：

一般式R3 B5 O12(Rはイットリウム、ランタン、ビスマスおよび3価の価数を有する希土類元素のいずれか一種を表し、Bは鉄、ガリウム、アルミニウム、スカンジウムのいずれか一種を表す)で示されるガーネットまたは前記ガーネットの酸素以外の構成元素の一部を等価な価数を有する一種以上の元素で置き換えた置換型ガーネットの結晶を用いたガーネット結晶光導波路において、前記ガーネット結晶光導波路が基板と、前記基板上に設けられた非磁性で蛍光を示さないガーネット結晶膜の下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に所定の寸法を有し光軸が一致した、組成の異なるガーネット結晶のコア層からなるコア部と、前記コア部上に設けられた非磁性で蛍光を示さないガーネット結晶膜の上部クラッド層とを具備したことを特徴とするガーネット結晶光導波路。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-144080
特開昭60-097306

前のページに戻る