液晶表示装置の製造方法、及び液晶表示装置の配線形成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-349787
公開番号（公開出願番号）：特開2001-166336
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】湿式エッチングを用いて、上層がモリブデン合金,下層がアルミニウム合金の積層配線の断面をテーパ状に加工し、絶縁膜のカバレッジを良好にするシャワー方式による一括エッチングで、Mo合金/Al合金積層配線の断面形状をテーパ状に加工し、良好な絶縁膜カバレッジを有するTFT-LCDの製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板の上にゲート配線を形成し、ゲート配線上にレジストパタンをホトリソグラフィーにより形成し、エッチャントをリン酸(H3PO4)と硝酸(HNO3)と酢酸(CH3COOH)と水(H2O)とを含む混合物で、硝酸(HNO3)を7モル%以上12モル%以下含み、フッ化アンモニウム(NH4F)とフッ化水素(HF)の少なくともどちらか一方を0.01から0.1モル%程度の微量含む組成として湿式エッチングを実施する。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の上に金属薄膜を形成する工程と、該金属薄膜上にレジストパタンをホトリソグラフィーにより形成する工程と、エッチャントをリン酸(H3PO4)と硝酸(HNO3)と酢酸(CH3COOH)と水(H2O)とを含む混合物で、硝酸(HNO3)を7モル%以上12モル%以下含み、フッ化アンモニウム(NH4F)とフッ化水素(HF)の少なくともどちらか一方を約0.01から約0.1モル%含む組成として湿式エッチングを実施する工程と、を有する液晶表示装置の製造方法。

IPC (5件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/00 342 , G09F 9/30 338 , C23F 1/16 , H01L 21/308

FI (5件)：

G09F 9/00 342 Z , G09F 9/30 338 , C23F 1/16 , H01L 21/308 F , G02F 1/136 500

Fターム (47件)：

2H092GA25 , 2H092HA06 , 2H092JA40 , 2H092JA44 , 2H092JB24 , 2H092JB33 , 2H092KB04 , 2H092MA18 , 2H092NA15 , 2H092NA16 , 4K057WA11 , 4K057WB05 , 4K057WB08 , 4K057WB11 , 4K057WB15 , 4K057WE02 , 4K057WE04 , 4K057WE07 , 4K057WE12 , 4K057WG03 , 4K057WN01 , 5C094AA21 , 5C094AA42 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA14 , 5C094DB04 , 5C094EA04 , 5C094EB02 , 5C094FB12 , 5F043AA22 , 5F043AA27 , 5F043BB15 , 5F043BB16 , 5F043DD23 , 5F043EE07 , 5F043FF03 , 5F043GG02 , 5G435AA16 , 5G435AA17 , 5G435BB12 , 5G435EE33 , 5G435EE41 , 5G435HH12 , 5G435KK05 , 5G435KK09

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