運動センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：草野卓 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-045220
公開番号（公開出願番号）：特開平10-239347
出願日： 1997年02月28日
公開日（公表日）： 1998年09月11日
要約：

【要約】【課題】加速度検出部の質量部を大きくとってそれだけ加速度の検出精度を向上する運動センサを提供する。【解決手段】半導体基板に形成された角速度センサおよび加速度センサより成る運動センサにおいて、加速度センサacを構成する質量部1は角速度センサjyを囲んで形成される四辺形枠形のものである運動センサ。

請求項（抜粋）：

半導体基板に形成された角速度センサおよび加速度センサより成る運動センサにおいて、加速度センサを構成する質量部は角速度センサを囲んで形成される四辺形枠形のものであることを特徴とする運動センサ。

IPC (3件)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (3件)：

G01P 15/125 , G01C 19/56 , G01P 9/04

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