特許

J-GLOBAL ID：200903053156901018

走査型露光装置及び走査露光方法

発明者： 花崎 哲嗣 ,  奈良 圭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 平木 祐輔 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-214504
公開番号（公開出願番号）：特開平10-063011
出願日： 1996年08月14日
公開日（公表日）： 1998年03月06日
要約：

【要約】【課題】 最後のアライメントマークの検出位置から走査ステージの走査を可能とし走査型露光装置のスループットの向上を図る。【解決手段】 スルー・ザ・マスク(TTM)アライメント系とともにオフアクシスアライメント系を設置し、オフアクシスアライメント系を用いて行われる最終アライメント位置を走査開始位置と一致させる。走査型露光装置にマスク10と感光基板14をロードしたのち(b)、往路走査の途中でTTMアライメント系27a,27bを用いたマスクマーク23a〜23dと基板マーク24a〜24dの検出を行い(c,d)、最後の基板マーク23e,24fの検出をオフアクシスアライメント系31a,31bを用いて行う(e)。その最終アライメント位置から直ちに復路走査を開始して走査露光を行う。

請求項（抜粋）：

マスク上のパターンを所定形状の照明領域で照明する照明光学系と、前記マスク上のパターンを透過した光束を感光基板上に投影する投影光学系と、前記照明領域に対して前記マスク及び前記感光基板を同期して走査する走査手段と、前記マスク及び前記投影光学系を介して前記感光基板に形成された基板アライメントマークを検出することのできる第1のアライメント系と、前記投影光学系の軸外から前記基板アライメントマークを検出することのできる第2のアライメント系とを備え、前記第2のアライメント系は、前記走査手段による露光走査開始位置で前記基板アライメントマークを検出することを特徴とする走査型露光装置。