特許
J-GLOBAL ID：200903053162554044
アンテナ結合電界検出型光検出素子およびその製造方法
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 正康
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-315249
公開番号（公開出願番号）：特開平9-162424
出願日： 1995年12月04日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】光周波数に応答可能であると共に機械的に安定かつ高感度であり、マイクロ波から赤外光領域に至る電磁波を検出することのできる光検出素子およびその製造方法を提供する。【解決手段】光を含む電磁波を受けるアンテナと、このアンテナと直結する微小面積のシリコン・金属界面を持つ検波用高周波ショットキーバリアダイオードを備える。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成され、赤外線を直接高周波の電磁波として検出することのできる検出素子であって、光を含む電磁波を受けるアンテナと、このアンテナと直結する微小面積のシリコン・金属界面を持つ検波用高周波ショットキーバリアダイオードを備え、マイクロ波より赤外光までの領域にわたる電磁波を検出することのできるアンテナ結合電界検出型光検出素子。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 31/02 Z
, H01L 31/10 C
