特許
J-GLOBAL ID：200903053163906513
CVDに供する液体ソースのバブラー
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-158772
公開番号（公開出願番号）：特開平11-006065
出願日： 1997年06月16日
公開日（公表日）： 1999年01月12日
要約：
【要約】【課題】CVDに供する液体ソースのバブラーに関し、液面センサーへの液体ソース液面の波の影響を防ぎ、誤検知をなくす。【解決手段】CVDに供する液体ソースのバブラーのうちバブラー内の液体ソースの量をバブラー内の液面センサーにより検知するバブラーにおいて、液面センサー4の周囲に液体ソースの移動を妨げないようなじゃま板7を設け、キャリアガス導入管2及び液体ソース導入管3から導入されるキャリアガス又は液体ソースによって液体ソース6液面に生ずる波を遮り、液面センサー4周辺で波が生じないようにする。【効果】じゃま板を設けたので、液面センサーの誤検知なく液面を正確にモニターすることが可能となる。また、キャリアガス導入管及び液体ソース導入管上に水平に多孔質材料による板を置いたので液体ソースの液面を均一にできる。
請求項（抜粋）：
CVDに供する液体ソースのバブラーのうちバブラー内の液体ソースの量をバブラー内の液面センサーにより検知するバブラーにおいて、液面センサーの周囲にじゃま板を設けることを特徴とするCVDに供する液体ソースのバブラー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 16/44 C
, H01L 21/205
