特許

J-GLOBAL ID：200903053168115069

収差測定装置

発明者： 湯原 由美子
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 佐藤 正年 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-079146
公開番号（公開出願番号）：特開平7-146213
出願日： 1993年03月13日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：

【要約】【目的】 収差測定装置における、主にコリメ-タレンズに起因する使用制限を解消すると共に、装置全体をコンパクトにすること。【構成】 平行光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、互いに直交する少なくとも二つの反射面を有する反射手段と、反射手段の二つの反射面で反射された検査光を被検査対象に入射させる光学手段とを備え、反射手段の位置を変化させることにより被検査対象への検査光の入射位置を変化させ、焦点位置近辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査対象の収差の状態を測定する収差測定装置。

請求項（抜粋）：

被検査対象に対して異なる複数の位置に入射させた検査光束が、被検査対象によりその焦点位置近辺に収束する状態を各々検出することにより、被検査対象の収差の状態を測定する収差測定装置において、平行光束からなる検査光を生じさせる光源手段と、互いに直交する少なくとも二つの反射面を有する反射手段と、前記反射手段の位置を移動させる移動手段と、前記反射手段の一方の反射面に前記検査光を入射させると共に、反射手段の二つの反射面で反射された検査光を被検査対象に入射させる光学手段とを備え、前記移動手段により反射手段の位置を変化させることにより、前記被検査対象への検査光の入射位置を変化させることを特徴とする収差測定装置。