特許
J-GLOBAL ID：200903053177314015
プラズマ発生装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-181144
公開番号（公開出願番号）：特開平7-037697
出願日： 1993年07月22日
公開日（公表日）： 1995年02月07日
要約：
【要約】【目的】 簡単な構造のプラズマ発生装置で高密度のプラズマを発生し得るようにする。【構成】 内部に処理室2が形成された処理容器1には、コイル状電極11が巻き付けられており、このコイル状電極11には処理室2内にプラズマを発生させるための高周波電流が高周波電源12から供給され、これに重畳させて直流電流が直流電源13から供給される。この直流電流により処理室内には磁界が発生してプラズマの密度が高くなる。
請求項（抜粋）：
処理ガスが供給される処理室が形成され、コイル状の電極が巻き付けられた処理容器を有するプラズマ発生装置であって、前記コイル状の電極に高周波電源を接続するとともに、当該高周波電源からの高周波電流に直流電流を重畳させる直流電源を前記コイル状の電極に接続したことを特徴とするプラズマ発生装置。
IPC (2件)：
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