特許
J-GLOBAL ID：200903053182842674
固定磁気ディスクおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-333792
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166168
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】製造行程を複雑化せず耐久性や硬度など信頼性に優れ、かつ高密度磁気記録を可能にする。【構成】ディスク基板上41にNaCl型結晶構造の酸化物薄膜としてのNiO膜42を形成し、このNiO膜42上にスピネル型結晶構造の酸化鉄軟磁性薄膜としてのNi-Znフェライト膜43を形成し、さらにこのNi-Znフェライト膜43上に、ディスク基板表面に対して垂直方向に柱状構造を有した亜鉛とコバルトを含むスピネル型結晶構造の酸化鉄磁性薄膜としてのCo-Znフェライト膜44を形成した構造の固定磁気ディスクを、β-ジケトン金属錯体の蒸気と反応ガスとしての酸素またはオゾンまたはN2 Oの混合ガスをプラズマ中で分解して反応させることにより作製する。
請求項（抜粋）：
ディスク基板上にスピネル型結晶構造の酸化鉄軟磁性薄膜を設け、前記酸化鉄軟磁性薄膜上に、ディスク基板表面に対して垂直方向に柱状構造を有した亜鉛とコバルトを含むスピネル型結晶構造の酸化鉄磁性薄膜を設けた固定磁気ディスク。
IPC (3件)：
G11B 5/66
, G11B 5/85
, H01F 10/20
