特許

J-GLOBAL ID：200903053190598596

リークテスト装置と方法

発明者： 柳下 浩二
出願人/特許権者： 日本真空技術株式会社
代理人 (1件)： 北村 欣一 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-339067
公開番号（公開出願番号）：特開平5-172686
出願日： 1991年12月20日
公開日（公表日）： 1993年07月09日
要約：

【要約】【目的】 微少な漏れ量を通常市販のリーク検出装置を使用して精度良く検出できるリークテスト装置を提供すること【構成】 リークテスト系路を真空ポンプに夫々接続された粗引排気系と高真空排気系とで構成し、該高真空排気系にその内部のガス分子を検出するリーク検出装置を設けたリークテスト装置に於いて、該高真空排気系の上流側に仕切バルブを介して真空チャンバーを設け、該真空チャンバーに仕切バルブを介して高真空排気用真空ポンプを接続する【効果】 従来は行なえなかった被試験物の微少な漏れを検知レベルを上げて精度良く検出することができ、検出装置の質量分析計は常時、高真空ないし超高真空状態に置かれ、バックグランドも常に最低のレベルで安定し、真空チャンバーを超高真空から極高真空にまで排気する必要もない

請求項（抜粋）：

リークテストの被試験物に接続されるリークテスト系路を真空ポンプに夫々接続された粗引排気系と高真空排気系とで構成し、該高真空排気系にその内部のガス分子を検出するリーク検出装置を設け、該粗引排気系に設けた粗引バルブと高真空排気系に設けたメインバルブを順次に開閉して該リークテスト品のリークテストを行なうようにしたものに於いて、該高真空排気系の上流側に仕切バルブを介して真空チャンバーを設け、該真空チャンバーに仕切バルブを介して高真空排気用真空ポンプを接続したことを特徴とするリークテスト装置。