特許
J-GLOBAL ID：200903053194048442
テーブル機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-194311
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028768
出願日： 1998年07月09日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】三次元的に変位し得る小型で、高精度な位置制御が可能であり、大きな変位を発生可能なテーブル機構を提供する。【解決手段】固定台の内部には、可動ブロック3、ばね4a,4bと5a,5bと6a,6b、拡大アーム7a,7bと8a,8bと9a,9bが形成されている。拡大アーム7a,7bと8a,8bと9a,9bは、それぞれ、切り欠き側の一端が固定台に接続し、他端はばね4a,4bと5a,5bと6a,6bを介して可動ブロック3に接続している。テーブルは四本の接続棒14に支持されており、接続棒14は固定ブロックの内部に延び、可動ブロック3に連結されている。圧電素子10a,10bと11a,11bと12a,12bは、一端がそれぞれ拡大アーム7a,7bと8a,8bと9a,9bの切り欠き部の近くに当接しており、他端は固定ブロックに固定されている。
請求項（抜粋）：
被載体を三次元的に移動させるテーブル機構であり、固定的に支持される固定台と、前記被載体を載置するテーブルを支持すると共に、固定台に対して移動される移動体と、前記移動体の移動軸に対して対称に配置され、前記移動体を平行移動自在に係合する弾性部材と、前記移動体の駆動軸に対して対称的に配置され、一端が前記弾性部材と係合し、他端が前記固定台と係合し、前記固定台と係合する他端は切り欠き部を構成するアーム部材と、前記移動体の駆動軸に対して対称的に配置され、一端が前記固定台と係合し、他端が前記アーム部材の切り欠き部近傍と係合するアクチュエータとを備えているテーブル機構。
IPC (5件)：
G12B 5/00
, B23Q 1/34
, G01B 21/00
, G02B 21/26
, G05D 3/00
G12B 5/00 T
, G01B 21/00 L
, G02B 21/26
, G05D 3/00 A
, B23Q 1/04
