特許
J-GLOBAL ID：200903053197434874
マイクロセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-229734
公開番号（公開出願番号）：特開平9-072763
出願日： 1995年09月07日
公開日（公表日）： 1997年03月18日
要約：
【要約】【課題】 細長い薄膜状のセンサ部を基板の空洞上に位置させたマイクロセンサを流動する流体の内部に配置しても、流体に浮遊する粒塊の衝突によりセンサ部が破壊されることがないようにする。【解決手段】 センサ部3を、その横幅と略同一径の粒塊が衝突しても破壊されない横幅に形成し、このセンサ部3の短手方向の両側の近傍にガード部14を設けた。速度と比重が一定の粒塊の衝突エネルギは直径の三乗に比例し、長さと厚さとが一定のセンサ部3の強度は横幅に比例する。つまり、センサ部3が充分に幅狭であると、その横幅と略同一径の粒塊が衝突しても破壊が発生しない。大径の粒塊はガード部14に衝突するので、センサ部3が大径の粒塊の衝突により破壊されることもない。
請求項（抜粋）：
基板の表面に細長い薄膜状のセンサ部を形成し、このセンサ部の両側に開口して裏側を連通する空洞を前記基板に形成し、流動する流体の内部に配置されるマイクロセンサにおいて、前記センサ部を、その長手方向と直交する横幅と略同一径の粒塊が衝突しても破壊されない横幅に形成し、このセンサ部の短手方向の両側の近傍にガード部を設けたことを特徴とするマイクロセンサ。
IPC (5件)：
G01D 21/00
, G01F 1/68
, G01N 27/00
, G01P 5/12
, G01W 1/11
G01D 21/00 G
, G01F 1/68
, G01N 27/00 B
, G01P 5/12 C
, G01W 1/11 F
