特許

J-GLOBAL ID：200903053203054140

レーザ加工方法

発明者： 福満 憲志 ,  福世 文嗣 ,  内山 直己
出願人/特許権者： 浜松ホトニクス株式会社
代理人 (3件)： 長谷川 芳樹 ,  寺崎 史朗 ,  石田 悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-152830
公開番号（公開出願番号）：特開2004-351477
出願日： 2003年05月29日
公開日（公表日）： 2004年12月16日
要約：

【課題】硬度が高い加工対象物であっても効率の良い切断を可能にするレーザ加工方法を提供する。【解決手段】加工対象物1の内部に集光点Pを合わせて多光子吸収が生じる条件でレーザ光Lを照射し、切断予定ライン5に沿って改質領域7による切断起点領域8を形成する。その後、切断予定ライン5に沿って加工対象物1の表面3に溝59を形成する。これにより、溝59の形成に伴って、或いは比較的小さな力を加えることで、切断起点領域8を起点として割れが発生し、その割れが溝59の底面59aと加工対象物1の裏面21とに到達する。したがって、加工対象物1の硬度が高い場合であっても、ブレードによりフルカットする方法や、加工対象物1の表面3に溝59のみを形成して割断する方法に比べ、切断予定ライン5に沿って加工対象物1を効率良く切断することが可能になる。【選択図】 図18

請求項（抜粋）：

ウェハ状の加工対象物の内部に集光点を合わせてレーザ光を照射し、前記加工対象物の内部に改質領域を形成し、この改質領域によって、前記加工対象物の切断予定ラインに沿って前記加工対象物のレーザ光入射面から所定距離内側に切断起点領域を形成する工程と、 前記切断起点領域を形成した後、前記加工対象物の表面に前記切断予定ラインに沿って溝を形成する工程とを備えたことを特徴とするレーザ加工方法。

IPC (3件)：

B23K26/00 ,  B28D5/00 ,  H01L21/301

FI (7件)：

B23K26/00 320E ,  B23K26/00 D ,  B28D5/00 Z ,  H01L21/78 B ,  H01L21/78 F ,  H01L21/78 Q ,  H01L21/78 V

Fターム (16件)：

3C069AA03 ,  3C069BA04 ,  3C069BA08 ,  3C069BB04 ,  3C069CA05 ,  3C069CA06 ,  3C069CA11 ,  3C069CB02 ,  3C069EA01 ,  3C069EA03 ,  4E068AA03 ,  4E068AD01 ,  4E068AE01 ,  4E068CA11 ,  4E068DA10 ,  4E068DB13