半導体レーザ制御モジュール及び光システム

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-312894
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124566
出願日： 2001年10月10日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：

【要約】【課題】本願発明の課題は、半導体レーザの波長ロック光学系で波長誤差検出素子の温度特性に起因して、周囲温度の変化で検出波長がずれるため、ロック目標の範囲からはずれることを防止するにある。【解決手段】本願発明の骨子は、波長誤差検出素子の温度依存性を無視できる構造とする。又、半導体レーザや、集光レンズを搭載する、例えばシリコン基板に反射ミラーを形成しビーム分割機能を持たせることによって、小型化等を図ることが出来る。

請求項（抜粋）：

半導体レーザ光源からの出射光の一部を第1の光束としてエタロンを透過させて第1の光検出手段に導き、前記出力光の他の少なくとも一部を第2の光束としてそのエタロンを透過することなく第2の光検出手段に導き、前記第1及び第2の光検出手段で検出された前記第1及び第2の光束の差信号に基づいて、前記レーザ光源の発振周波数を所定値に維持するように構成され、且つ前記エタロンは、少なくともスペーサを当該モジュールで適用する光を透過する光学特性を有する二枚の板材で挟んで構成され、且つ前記二枚の板材の当該エタロンへの入射光の光軸と交差する方向の長さは、同じ方向の前記スペーサの長さより長く設定され、前記二枚の板材の前記スペーサに接しないで互いに向かい合う部分が挟む空間が前記エタロンの多重干渉領域とされ、前記多重干渉領域に気体が存在し、且つ前記スペーサは、その材料の熱膨張係数が10のマイナス7乗/°C以下の固体材料より成ることを特徴とする半導体レーザ制御モジュール。

IPC (3件)：

H01S 5/0687 , G02B 6/42 , H01S 5/022

FI (3件)：

H01S 5/0687 , G02B 6/42 , H01S 5/022

Fターム (16件)：

2H037AA01 , 2H037BA03 , 2H037CA37 , 2H037DA02 , 2H037DA03 , 2H037DA35 , 2H037DA38 , 5F073AB06 , 5F073AB25 , 5F073AB28 , 5F073EA03 , 5F073FA07 , 5F073FA08 , 5F073FA25 , 5F073GA22 , 5F073GA23

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