加速度センサ

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：佐藤隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-063389
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257828
出願日： 1996年03月19日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：

【要約】【課題】温度依存性がなく、しかも構造が簡単で故障が少ない高感度な加速度センサーを提供する。【解決手段】加速度により変位する錘部12と距離をおいて位置するシリコン製の部材(例えば、上下カバー6,8)を有し、この部材には、錘部12に向けて光を照射する光出射手段18が設けてある。また、錘部12で反射した反射光を検出する受光手段20が、この部材に一体に形成してある。錘部12と梁部14と支持部(例えば、フレーム10)とをシリコン基板から一体に形成し、その厚さ方向に部材(上下カバー6,8等)を位置させると薄型化ができる。錘部12の検出位置に反射膜16を設けると、光の利用効率の面で好ましい。

請求項（抜粋）：

加速度により変位する錘部と、該錘部に距離をおいて位置するシリコン製の部材とを有し、該シリコン製の部材には、錘部に向けて光を照射する光出射手段が設けてあるとともに、光出射手段から出射されて錘部で反射した反射光を検出する受光手段が、該部材に一体に形成してある加速度センサ。

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