特許
J-GLOBAL ID：200903053219871785
変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
早川 誠志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-257758
公開番号（公開出願番号）：特開平11-083426
出願日： 1997年09月04日
公開日（公表日）： 1999年03月26日
要約：
【要約】【課題】 被測定面が粗く照射点からの光が広がっている場合でも、精度の高い測定が高速に行なえるようにする。【解決手段】 測定対象物1に向かって出射されるビームの照射点Sは、被測定対象物1の表面1a上を一定方向に走査される。この照射点からの光は、レンズアレイ25の球面集束型の各集光レンズ部25a〜25eによってほぼ平行なビームに集束されて球面集束型の結像レンズ26に入射し、結像レンズ26によって偏向集束されて受光素子27の受光面27aに照射点の像を点状に結像させる。
請求項（抜粋）：
同一平面上で所定範囲を光軸が平行に移動するビームを測定対象面に出射して、該測定対象面上のビームの照射点を走査する投光部と、測定対象面上の照射点からの光を受けて該照射点の像を受光素子の受光面上に結像させ、前記受光素子の受光面上の光の結像位置に対応する信号を出力させる受光部とを有し、前記受光素子から出力される信号に基づいて前記照射点の走査方向に沿った前記測定対象面の変位を測定する変位測定装置において、前記受光部は、外形寸法が前記ビームの走査幅より小さく焦点距離がそれぞれ等しい複数の球面集束型の集光レンズ部が、それぞれの光軸を平行に且つ該光軸と直交する線上に連続した状態で一列に並んで形成され、前記各集光レンズ部の光軸が測定対象面上を走査される照射点に交わる向きで、該照射点までの距離が前記焦点距離とほぼ等しくなる位置に配置され、前記照射点からの光を前記各集光レンズ部によって集束するレンズアレイと、前記レンズアレイの各集光レンズ部によって集束されたビームを前記受光素子の受光面上に集束させて、該受光面上に測定対象面上の照射点の像を結像させる球面集束型の結像レンズとを備えていることを特徴とする変位測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 B
, G01C 3/06 A
