特許

J-GLOBAL ID：200903053229724420

極低温冷凍装置

発明者： 栗原 利行 ,  富岡 計次 ,  岡本 昌和 ,  三浦 克哉
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-041372
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236340
出願日： 1996年02月28日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：

【要約】【課題】 圧縮機5,8にJT冷凍機51と、JT冷凍機51で膨張する前のヘリウムガスを予冷するディスプレーサ型予冷冷凍機26と、ディスプレーサ型シールド冷凍機40とを接続し、液体窒素タンクTn内の液体窒素により冷却されて、JT冷凍機51の冷却対象物Mを外部から熱シールドする熱シールド板Sを設け、液体窒素タンクTn内の蒸発窒素をシールド冷凍機40により冷却して凝縮液化し、液体窒素タンクTn内の圧力が上昇すると液体窒素タンクTn内の蒸発窒素ガスを排出する場合に、液体窒素タンクTn内に常に所定量の液体窒素を保って液体窒素による熱シールド効果の安定確保を図る。【解決手段】 窒素ガスを貯蔵する窒素ガスタンクT2を液体窒素タンクTnに接続し、液体窒素タンクTnの内圧が下がったときに、窒素ガスタンクT2から窒素ガスを液体窒素タンクTnに補充するようにする。

請求項（抜粋）：

冷却対象物(M)を含む極低温冷却部分を囲むように配設され、液体シールド冷媒により冷却されて上記極低温冷却部分を外部から熱シールドする熱シールド部(S)と、上記熱シールド部(S)を冷却するための液体シールド冷媒を貯溜する液体シールド冷媒タンク(Tn)と、圧縮機(5),(8)からの高圧冷媒ガスをディスプレーサの往復動により膨張させて極低温を発生させ、上記液体シールド冷媒タンク(Tn)内の蒸発シールド冷媒ガスを冷却して凝縮液化するシールド冷凍機(40)と、上記液体シールド冷媒タンク(Tn)にシールド冷媒放出配管(22a)を介して接続され、液体シールド冷媒タンク(Tn)内の圧力が第1設定圧以上に上昇したときに開いて、液体シールド冷媒タンク(Tn)内の蒸発シールド冷媒ガスを排出する放出弁(24)と、上記液体シールド冷媒タンク(Tn)にシールド冷媒供給配管(22b)を介して接続され、所定圧のシールド冷媒ガスを貯蔵するシールド冷媒ガスタンク(T2)と、上記シールド冷媒供給配管(22b)に配設され、液体シールド冷媒タンク(Tn)内の圧力が第2設定圧以下に低下したときにシールド冷媒供給配管(22b)を開く開閉手段(LPRn)とを備えたことを特徴とする極低温冷凍装置。

IPC (2件)：

F25B 9/00 ,  F25B 9/00 395

FI (2件)：

F25B 9/00 F ,  F25B 9/00 395 Z