特許
J-GLOBAL ID:200903053233360084

積層型圧電アクチュエータ

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-040808
公開番号(公開出願番号):特開平11-238918
出願日: 1998年02月23日
公開日(公表日): 1999年08月31日
要約:
【要約】【課題】積層体外周面に被覆される絶縁性樹脂の剥離を防止して、マイグレーションを抑制し、耐久性の高い積層型圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】複数の圧電板11と複数の金属薄板14とを交互に積層し、該金属薄板14を導電性接着剤により各圧電板11に接合した積層体1を具備するとともに、から金属薄板14に形成された接続用突起15を積層体1から交互に少なくとも2方向に突出せしめ、同一方向に突出した接続用突起15同士を電気的に接続し、さらに、積層体1の外周面に絶縁性樹脂20を被覆してなる積層型圧電アクチュエータであって、圧電板11の絶縁性樹脂20と当接する不活性部分Aの面粗さRa1 を、圧電板11の導電性接着剤と当接する活性部分Bの面粗さRa2 よりも大きくした。
請求項(抜粋):
複数の圧電板と複数の金属薄板とを交互に積層し、該金属薄板を導電性接着剤により前記各圧電板に接合した積層体を具備するとともに、前記金属薄板に形成された接続用突起を前記積層体から交互に少なくとも2方向に突出せしめ、同一方向に突出した前記接続用突起同士を電気的に接続し、さらに、前記積層体の外周面に絶縁性樹脂を被覆してなる積層型圧電アクチュエータであって、前記圧電板の絶縁性樹脂と当接する不活性部分の面粗さRa1 を、前記圧電板の導電性接着剤と当接する活性部分の面粗さRa2 よりも大きくしたことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件):
H01L 41/083 ,  H01L 41/22
FI (2件):
H01L 41/08 S ,  H01L 41/22 Z

前のページに戻る