圧電・電歪デバイス及びその製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉一平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-307845
公開番号（公開出願番号）：特開2001-169571
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】可動部を大きく作動させることが可能であって、動作上、有害な振動の影響を受け難く、機械的強度、ハンドリング性、耐衝撃性、耐湿性に優れた変位素子、可動部の振動を精度良く検出することができるセンサ素子を提供する。【解決手段】圧電・電歪素子の変位により駆動する駆動部3と、駆動部3の駆動に基づいて作動する可動部4と、駆動部3及び可動部4を支持するための固定部5とを備えた圧電・電歪デバイス1において、相対向する薄板6,7と、薄板6,7のうち少なくとも1の薄板6の表面に形成された薄膜状の圧電・電歪素子2とからなる駆動部3を有し、駆動部3によって固定部5と可動部4とが結合されている圧電・電歪デバイス1である。

請求項（抜粋）：

圧電・電歪素子の変位により駆動する駆動部と、当該駆動部の駆動に基づいて作動する可動部と、前記駆動部及び可動部を支持するための固定部とを備えた圧電・電歪デバイスにおいて、相対向する薄板と、当該薄板のうち少なくとも1の薄板の表面に形成された薄膜状の圧電・電歪素子とからなる駆動部を有し、当該駆動部によって前記固定部と前記可動部とが結合されていることを特徴とする圧電・電歪デバイス。

IPC (3件)：

H02N 2/00 , G02B 26/02 , H01L 41/09

FI (3件)：

H02N 2/00 B , G02B 26/02 , H01L 41/08 C

Fターム (9件)：

2H041AA02 , 2H041AA04 , 2H041AA06 , 2H041AB03 , 2H041AB04 , 2H041AC08 , 2H041AZ02 , 2H041AZ05 , 2H041AZ08

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