特許

J-GLOBAL ID：200903053240919259

テスト結果予測装置、テスト結果予測方法、半導体テスト装置、半導体テスト方法、システム、プログラム、および記録媒体

発明者： 永廣 雅之 ,  高岡 弘和
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人原謙三国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-192117
公開番号（公開出願番号）：特開2008-021805
出願日： 2006年07月12日
公開日（公表日）： 2008年01月31日
要約：

【課題】半導体装置のテスト結果をより精度良く予測する。【解決手段】第1の完成ウエハの電気的特性データ、および、当該第1の完成ウエハのテスト結果データが、予測モデル構築部10に入力される。予測モデル構築部10は、入力されたデータを用いることによって、ニューラルネットワークとして構成されるテスト結果予測モデルを構築する。テスト結果予測部11は、構築されたテスト結果予測モデルに、第2の完成ウエハの電気的特性データを入力することによって、第2の半導体ウエハのテスト結果を予測する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

半導体ウエハのテスト結果を予測するテスト結果予測装置であって、 第1の半導体ウエハの電気的特性データ、および、当該第1の半導体ウエハのテスト結果データを用いることによって、ニューラルネットワークとして構成されるテスト結果予測モデルを構築する予測モデル構築手段と、 上記構築されたテスト結果予測モデルに、第2の半導体ウエハの電気的特性データを入力することによって、当該第2の半導体ウエハのテスト結果を予測するテスト結果予測手段とを備えていることを特徴とするテスト結果予測装置。

IPC (2件)：

H01L 21/66 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

H01L21/66 Z ,  H01L21/02 Z

Fターム (7件)：

4M106AA01 ,  4M106AA02 ,  4M106BA01 ,  4M106CA01 ,  4M106DJ18 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ27

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 番組受信装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-358949   出願人：オリオン電機株式会社