特許

J-GLOBAL ID：200903053246105180

インプリント・リソグラフィ・プロセスにおける倍率拡大及びゆがみを補正するためのシステム

発明者： チョイ,ビュン-ジン ,  スリニーヴァッサン,シトルガタ・ヴイ ,  メイッスル,マリオ・ジェイ
出願人/特許権者： モレキュラー・インプリンツ・インコーポレーテッド
代理人 (2件)： 山川 政樹 ,  山川 茂樹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-518977
公開番号（公開出願番号）：特表2007-535121
出願日： 2004年07月08日
公開日（公表日）： 2007年11月29日
要約：

本発明は、テンプレートによって形成された下層のパターンのゆがみが避けられない場合にこれを軽減するために、テンプレートの寸法を変更するシステムに関する。そのためには、システムは、離間して配置された接触部材のペアを含み、この離間して配置された接触部材のペアの間でテンプレートの周縁表面を圧縮する圧縮装置を備えることを特徴とする。圧縮装置は、各々が接触部材とアクチュエータアームとを有する第1及び第2の本体を含む。アクチュエータアームの1つは、アクチュエータアームに隣接して配置されたブラダーの容積の変化に応答して軸の周りで往復動をするよう第1の本体に結合される。このようにして、2つの接触部材間の距離を変化させることができる。【選択図】図11

請求項（抜粋）：

対向する表面を有し、その間に延びて周縁表面となる側面を備えたテンプレートの寸法を変更するためのシステムにおいて、 互いに向き合って、ある距離だけ間隔を置いて配置されてペアとなっている接触部材をそれぞれが有する第1及び第2の本体であって、該第1の本体がアクチュエータアームと該アクチュエータアームに隣接して配置されたチャンバとを含み、前記接触部材のペアの1つが前記アクチュエータアームの移動に応答して移動するよう前記アクチュエータアームに結合されている第1及び第2の本体と、 前記チャンバ内に位置付けられて可変の容積を有し、前記容積の変化に応答して前記アクチュエータアームが移動し前記距離を変化させるよう前記第1の本体に結合されているブラダーと、 を備えることを特徴とするシステム。

IPC (1件)：

H01L 21/027

FI (1件)：

H01L21/30 502D

Fターム (1件)：

5F046AA28

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 米国特許第6,334,960号公報
  
• 米国特許第5,772,905号公報
  
• 米国特許出願番号10/194,414号公報
  
• 米国特許出願番号10/191,749号公報
  
• 米国特許出願番号10/463,396号公報