特許
J-GLOBAL ID：200903053247889134
硬質物質層の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-516469
公開番号（公開出願番号）：特表平9-506669
出願日： 1994年12月15日
公開日（公表日）： 1997年06月30日
要約：
【要約】本発明は、部品上に多様な及び組み合わされた種類の摩耗に対する広範囲の保護を形成する硬質物質層を製造する低温方法に関する。このため、付着層、耐摩耗性の硬質機能層及び摩擦の少ない表面層からなる硬質物質層は、組み合わされたPVD-及びCVD被覆方法により及び同時のエネルギー的イオン処理により製造されることが考慮される。
請求項（抜粋）：
硬質物質層内に、付着層(14)、耐摩耗性の機能層(16)及び摩擦の少ない表面層(18)を、組み合わせた低温-PVD-及びCVD-被覆方法により製造することを特徴とする、部品上に硬質物質層を製造する方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
C23C 14/06 A
, C23C 14/06 B
, C23C 14/06 C
, C23C 14/22 A
