特許
J-GLOBAL ID：200903053266636743
静圧移動案内装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
福島 康文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-121358
公開番号（公開出願番号）：特開平6-330944
出願日： 1993年05月24日
公開日（公表日）： 1994年11月29日
要約：
【要約】【目的】精密測定や精密位置決めなどに適する静圧移動案内装置、特に流体の吹き出し部に多孔質ブロックを用いた静圧移動案内装置に関し、磁気を嫌う環境でも磁力に代わって与圧を与えることができ、かつ静圧浮上力と与圧との釣合いをとるための機構部品を必要とせず、また環境汚染の恐れの無い静圧移動案内装置を実現することを目的とする。【構成】少なくとも浮上部が多孔質ブロック5からなるスライダSが、平面度の高いベース3と対向し、浮上状態で相対移動する静圧移動案内装置において、前記多孔質ブロック5の吹き出し部5a以外から空気が漏れない構成にすると共に、前記吹き出し部を囲むように形成された環状の凹溝6を設け、該環状凹溝6を排気装置に接続してなる構成とする。
請求項（抜粋）：
少なくとも浮上部が多孔質ブロック(5) からなるスライダ(S) が、平面度の高いベース(3) と対向し、浮上状態で相対移動する静圧移動案内装置において、前記多孔質ブロック(5) の吹き出し部(5a)以外から空気が漏れない構成とし、かつ前記吹き出し部(5a)以外の領域に、排気装置(P) に接続される凹部領域(6) を設けてなることを特徴とする静圧移動案内装置。
IPC (2件)：
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