特許

J-GLOBAL ID：200903053272189384

反射防止膜

発明者： 大橋 寿彦 ,  井岡 崇明
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
代理人 (1件)： 青木 宏義
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2004008505
公開番号（公開出願番号）：WO2004-113966
出願日： 2004年06月10日
公開日（公表日）： 2004年12月29日
要約：

複数のシリカ粒子及び少なくとも1種のバインダー化合物を含有する反射防止膜であって、シリカ粒子の含有量が30重量%以上であり、算術平均粗さ(Ra)が2nm以下であり、且つ表面ケイ素原子含有量が10atom%以上であることを特徴とする反射防止膜。

請求項（抜粋）：

複数のシリカ粒子及び少なくとも1種のバインダー化合物を含有する反射防止膜であって、 該複数のシリカ粒子同士が該少なくとも1種のバインダー化合物を介して結合されており、 下記(a)〜(c)の特徴を有する反射防止膜。 (a)該シリカ粒子の含有量が、反射防止膜の重量に対して30重量%以上であり、 (b)算術平均粗さ(Ra)が2nm以下であり、そして (c)反射防止膜の表面に関してX線光電子分光法(XPS)で測定した表面ケイ素原子含有量が10atom%以上である。

IPC (2件)：

G02B 1/11 ,  G02F 1/133

FI (2件)：

G02B1/10 A ,  G02F1/1335

Fターム (28件)：

2H091FA37X ,  2H091FB02 ,  2H091FB06 ,  2H091FB07 ,  2H091FB08 ,  2H091FB11 ,  2H091FB13 ,  2H091FC12 ,  2H091FC22 ,  2H091FC23 ,  2H091FC24 ,  2H091FC25 ,  2H091FC26 ,  2H091FD06 ,  2H091FD15 ,  2H091KA01 ,  2H091KA10 ,  2H091LA02 ,  2H091LA12 ,  2H091LA16 ,  2H091MA07 ,  2K009AA03 ,  2K009BB11 ,  2K009CC03 ,  2K009CC09 ,  2K009CC24 ,  2K009DD01 ,  2K009DD02