特許
J-GLOBAL ID：200903053291606255
静電容量式力センサー
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
辻本 一義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-192628
公開番号（公開出願番号）：特開平7-049272
出願日： 1993年08月03日
公開日（公表日）： 1995年02月21日
要約：
【要約】【構成】 入力軸4の下端に設けた共通電極Cとなる電極板5、及びギャップGを有してこの電極板5に対向するように左右前後方向から配された電極Cx+、Cx-、Cy+、Cy-となる電極部6a、6b、6c、6dからなるセンサー部1を、モールド3によりパッケージ化している。【効果】 従来の力センサーで必要であったFPCが不要となり、また精密な切削加工を必要とする金属起歪体を使用しなくてもよくなるので、低コストで製作でき、しかも量産性に優れたものとなる。
請求項（抜粋）：
入力軸(4)の下端に設けた電極(C)となる電極板(5)、及びギャップ(G)を有してこの電極板(5)に対向するように左右前後方向から配された電極(Cx+)(Cx-)(Cy+)(Cy-)となる電極部(6a)(6b)(6c)(6d)からなるセンサー部(1)を、モールド(3)によりパッケージ化したことを特徴とする静電容量式力センサー。
IPC (3件)：
G01L 5/16
, G01L 1/14
, G06F 3/033 330
