ポジ型感光性組成物

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-159060
公開番号（公開出願番号）：特開2002-351063
出願日： 2001年05月28日
公開日（公表日）： 2002年12月04日
要約：

【要約】【課題】高感度で、パターンのエッジラフネスが改良されたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する特定の酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)特定の塩基性化合物、及び(D)フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤を含有するポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A)活性光線又は放射線の照射により酸を発生する下記式(I)に示す酸発生剤、(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、(C)第一級脂肪族アミン、第二級脂肪族アミン、第三級脂肪族アミン、第一級酸素含有脂肪族アミン、第二級酸素含有脂肪族アミン、第三級酸素含有脂肪族アミン、アルコール性含窒素化合物及び置換アニリンより成る群から選ばれた少なくとも1種の塩基性化合物及び(D)フッ素及び/又はシリコン系界面活性剤を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、R1〜R5は、水素原子、アルキル基、アルコキシ基、ニトロ基、ハロゲン原子、アルキルオキシカルボニル基又はアリール基を表し、R1〜R5のうち少なくとも2つ以上が結合して環構造を形成してもよい。R6及びR7は、水素原子、アルキル基、シアノ基又はアリール基を表す。Y1及びY2は、アルキル基、アリール基、アラルキル基又はヘテロ原子を含む芳香族基を表し、Y1とY2とが結合して環を形成してもよい。Y3は、単結合または2価の連結基を表す。X-は、非求核性アニオンを表す。但し、R1からR5の少なくとも1つとY1又はY2の少なくとも一つが結合して環を形成するか、若しくは、R1からR5の少なくとも1つとR6又はR7の少なくとも1つが結合して環を形成する。尚、R1からR7のいずれか、若しくは、Y1又はY2のいずれかの位置で、連結基を介して結合し、式(I)の構造を2つ以上有していてもよい。

IPC (5件)：

G03F 7/004 503 , G03F 7/004 501 , H01L 21/027 , C08F 20/12 , C08F 32/08

FI (5件)：

G03F 7/004 503 A , G03F 7/004 501 , C08F 20/12 , C08F 32/08 , H01L 21/30 502 R

Fターム (42件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE07 , 2H025CB41 , 2H025CC03 , 2H025CC04 , 2H025CC20 , 4J100AL08P , 4J100AR09P , 4J100AR11P , 4J100BA02P , 4J100BA03P , 4J100BA04P , 4J100BA05P , 4J100BA06P , 4J100BA11P , 4J100BA12P , 4J100BA15P , 4J100BA16P , 4J100BA20P , 4J100BA34P , 4J100BA40P , 4J100BA55P , 4J100BB01P , 4J100BB03P , 4J100BB05P , 4J100BB07P , 4J100BC02P , 4J100BC03P , 4J100BC04P , 4J100BC07P , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC12P , 4J100BC15P , 4J100BC53P , 4J100CA01 , 4J100JA38

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