特許
J-GLOBAL ID:200903053313584994

電流センサ

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小森 久夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-088756
公開番号(公開出願番号):特開平5-291647
出願日: 1992年04月09日
公開日(公表日): 1993年11月05日
要約:
【要約】【構成】基板1上に感磁部としての強磁性磁気抵抗膜パターン2,3をミアンダライン状に形成し、その上部に絶縁層を介して導体膜パターン38,48を平面コイル状に形成する。端子37,47から導体膜パターン38,48に被検出電流を通電することにより、その下層の強磁性磁気抵抗膜パターン2,3は磁界を受ける。【効果】導体膜パターン38,48の巻回分に応じて被検出電流に対する発生磁界強度が増大し、またミアンダライン状の強磁性磁気抵抗膜パターン2,3は導体膜パターンによる発生磁界を効率よく受ける。これにより高感度,高確度の電流センサが得られる。
請求項(抜粋):
ミアンダライン状の強磁性磁気抵抗膜パターンと複数巻回分の平面コイル状の導体膜パターンを絶縁層を介して基板上に積層形成してなり、前記導体パターンの通電により生じる磁界を前記強磁性磁気抵抗膜パターンの抵抗値変化により検出する電流センサ。
IPC (2件):
H01L 43/08 ,  G01R 19/00

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