特許
J-GLOBAL ID：200903053313598120
共用試料ホールダ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-096100
公開番号（公開出願番号）：特開平7-302831
出願日： 1994年05月10日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：
【要約】【目的】大きさの異なるウエーハやその他の形状の試料を用いる場合、試料ホールダを交換することなく、同じホールダで処理すること。【構成】ストッパーA2はウエーハ6の位置を決めるためにあらかじめ試料ホールダ本体1の定められた位置に固定される。ストッパーB5はスライダー4に固定されウエーハ6を押し付け、その位置を固定する。スライダー4はアーム7に取り付けられており、アームの移動に従って移動する。アーム7は両端に支点8,真空可動シリンダ3が接続されており、真空可動シリンダの伸縮をスライダー4に伝える。ストッパーAおよびBの位置はウエーハの大きさに従ってその位置が替えられる。【効果】大きさの異なる各種ウエーハから小さな試料まで1つのホールダで保持出来るため、非常に経済的であると同時に効率的である。
請求項（抜粋）：
試料ホールダ上の定められた位置に複数の高さを可変可能なストッパーAと駆動源とこの駆動源から力をうけて移動するスライダー、このスライダー上に配置された複数の高さ可変可能なストッパーBを備え、上記ピンの高さを高くする位置に従って大きさの異なる複数の試料を保持出来ることを特徴とする共用試料ホールダ。
IPC (2件)：
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