特許

J-GLOBAL ID：200903053319863976

インクジェットヘッド用ノズルプレートおよびその製造方法

発明者： 茅野 祐治 ,  紙透 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-021489
公開番号（公開出願番号）：特開平9-207341
出願日： 1996年02月07日
公開日（公表日）： 1997年08月12日
要約：

【要約】【解決手段】 シリコン基板11からなり、ドライエッチングによって形成されたストレート部17及びアルカリ異方性エッチングによって形成されたテーパー部110を有するノズルを、インクジェットヘッド用ノズルプレートに形成する。【効果】 ノズルにストレート部とテーパー部をもたせたことによって、印字品質が良好な高密度のインクジェットヘッド用ノズルプレートを得る事ができた。また、高密度のインクジェットヘッド用ノズルプレートを形成する上で、シリコン基板の厚みを薄くする必要がなくなり、プロセスの途中で破損しなくなったため損失が減少した。

請求項（抜粋）：

(110)面方位のシリコン基板からなり、該シリコン基板の両面を貫通する貫通穴を有するインクジェットヘッド用ノズルプレートにおいて、前記貫通穴の前記シリコン基板の一方の面に連なる部分が、前記シリコン基板の板厚方向において一定の断面形状を有するストレート部であり、前記貫通穴の前記シリコン基板の他方の面に連なる部分が、前記シリコン基板内部において前記ストレート部に連なり、かつ前記シリコン基板の板厚方向において断面積が変化するテーパー部であることを特徴とするインクジェットヘッド用ノズルプレート。