特許

J-GLOBAL ID：200903053324974603

変位センサ

発明者： 山本 博康
出願人/特許権者： いわき電子株式会社
代理人 (1件)： 尾股 行雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-058406
公開番号（公開出願番号）：特開2000-258452
出願日： 1999年03月05日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：

【要約】【課題】 高精度で且つ安価な変位センサを提供する。【解決手段】 磁性体より成る可動子1を中心に磁性体より成る固定子20 、21 を対向して配置する。前記固定子20 、21 には各々駆動コイルDL0 、DL1 とこれらに対応する検出コイルSL0 、SL1 を備えている。制御部は、前記検出コイルSL0 、SL1 の検知出力に基づき、前記可動子が前記固定子20 、21 中間位置でバランスするように、前記可動子1と前記固定子20 、21 の間隔d0 、d1 に応じた電力にて前記駆動コイルDL0 、DL1 をパルス駆動する。そして、各駆動コイルDL0 、DL1 の駆動パルス数を計数してその計数値より前記可動子1に加わる力もしくは加速度を算出する。

請求項（抜粋）：

磁性体より成る可動子(1)と、各々駆動コイル(DL0 、DL1 )とこれらに対応する位置検出器(SL0 、SL1 )とを備え、前記可動子(1)を中心に対向して配置された磁性体より成る一対の固定子(20 、21 )と、前記位置検出器(SL0 、SL1 )の検知出力に基づき、前記可動子(1)が前記固定子(20 、21 )の中間位置でバランスするように、前記可動子(1)と前記固定子(20 、21 )の間隔(d0 、d1 )に応じた電力にて前記駆動コイル(DL0 、DL1 )を駆動すると共に、各駆動コイル(DL0 、DL1 )の駆動電力より前記可動子(1)に加わる力(F)もしくは加速度(G)を算出する制御部(10)とで構成されることを特徴とする変位センサ。

IPC (6件)：

G01P 15/13 ,  G01D 5/20 ,  G01L 5/16 ,  G01P 15/00 ,  G01P 15/11 ,  G01B 7/00

FI (7件)：

G01P 15/13 ,  G01D 5/20 F ,  G01L 5/16 ,  G01P 15/00 K ,  G01P 15/11 ,  G01B 7/00 D ,  G01B 7/00 R

Fターム (16件)：

2F051AB05 ,  2F051BA03 ,  2F051DA03 ,  2F051DB03 ,  2F063AA02 ,  2F063AA03 ,  2F063AA04 ,  2F063AA35 ,  2F063DA05 ,  2F063DD06 ,  2F063GA03 ,  2F077CC02 ,  2F077FF03 ,  2F077FF39 ,  2F077TT82 ,  2F077VV02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-254763
  
• 特開平4-264265