特許
J-GLOBAL ID：200903053329862846
アライメント方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-248517
公開番号（公開出願番号）：特開平5-062879
出願日： 1991年09月03日
公開日（公表日）： 1993年03月12日
要約：
【要約】【目的】 順次送り込まれて処理される複数枚のウエハのうちある1枚のウエハのずれ量計測に突発的に大きな誤差がのった場合でも、回路パターンをずれて焼き付けてしまうことがないようにする。【構成】 現在処理中のウエハである現ウエハのずれ量を計測してその特徴量を求め、最近処理を終えた複数枚のウエハで計測された特徴量と前記現ウエハにおける同種の特徴量を比較し、現ウエハのずれ量計測が妥当であったかを確認してから焼き付けを実行する。
請求項（抜粋）：
現在処理中のウエハである現ウエハのずれ量を計測してその特徴量を求め、最近処理を終えた複数枚のウエハで計測された特徴量と現ウエハにおける同種の特徴量を比較し、現ウエハのずれ量計測が妥当であったかを確認してから焼き付けを実行することを特徴とするアライメント方法。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 9/00
, H01L 21/68
