特許
J-GLOBAL ID：200903053331199330
光学式変位検出装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 晴敏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-228816
公開番号（公開出願番号）：特開平5-133772
出願日： 1991年08月14日
公開日（公表日）： 1993年05月28日
要約：
【要約】【目的】 幾何光学式エンコーダの分解能を改善し併せて対向するスリットパタンとマスクパタンの間隔を拡げる事を目的とする。【構成】 周期的なスリットパタン1を有し所定の第1平面に沿って変位可能に搭載された変位部材2が用いられている。変位部材2の背部には光源4が配置されており、スリットパタン1を照明して第1平面に沿って移動する1次明暗像3を生成する。レンズ部材6を用いて1次明暗像3を所定の倍率で投映し所定の第2平面に沿って移動する拡大された2次明暗像5を結像する。受光部8が第2平面上に固定配置されており、移動する2次明暗像5に応じた周期的マスクパタンに従って受光を行ない変位部材2の変位を表わす電気信号7を出力する。
請求項（抜粋）：
周期的なスリットパタンを有し所定の第1平面に沿って変位可能に搭載された変位部材と、該スリットパタンを照明し第1平面に沿って移動する1次明暗像を生成する為の光源と、該1次明暗像を所定の倍率で投映し所定の第2平面に沿って移動する拡大された2次明暗像を結像する為のレンズ部材と、第2平面上に固定配置されており移動する2次明暗像に応じた周期的マスクパタンに従って受光を行ない該変位部材の変位を表わす電気信号を出力する為の受光部とからなる光学式変位検出装置。
IPC (2件)：
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