特許

J-GLOBAL ID：200903053334771328

走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバー

発明者： 山口 光城
出願人/特許権者： オリンパス光学工業株式会社
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143277
公開番号（公開出願番号）：特開2000-329676
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：

【要約】【課題】探針先端の散乱効率が先端以外の探針部分よりも高められたSNOM用カンチレバーを提供する。【解決手段】SNOM用カンチレバー10は、支持部12により片持ちに支持されたレバー部14を有しており、レバー部14の自由端には三角錐形状の探針16が形成されており、探針16の先端部分には微小な球状の散乱体18が設けられている。レバー部14や探針16は主にシリコンや窒化シリコンで構成される。また、微小な球状の散乱体18は、レバー部14や探針16を構成するシリコンや窒化シリコンに比べて大きい散乱効率を有する物質で構成され、好ましくは金コロイドで構成される。

請求項（抜粋）：

探針の先端に散乱体が取付けられた走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバーであり、先端のみが選択的に改質された探針と、上記改質された部分に取付けられた散乱体とを具備することを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡用のカンチレバー。

IPC (4件)：

G01N 13/14 ,  G01B 11/30 ,  G12B 1/00 601 ,  G12B 1/00

FI (4件)：

G01N 37/00 E ,  G01B 11/30 Z ,  G12B 1/00 601 A ,  G12B 1/00 601 C

Fターム (5件)：

2F065AA49 ,  2F065DD12 ,  2F065FF00 ,  2F065HH02 ,  2F065MM00