特許

J-GLOBAL ID：200903053335206160

露光装置及びスペーサ

発明者： 中島 健司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-005209
公開番号（公開出願番号）：特開2002-217079
出願日： 2001年01月12日
公開日（公表日）： 2002年08月02日
要約：

【要約】【課題】支持部を交換することなく、任意の厚さの露光対象を解像性能よく露光させる。【解決手段】光源11と、露光対象30を所定の位置に保持するための支持部13と、露光対象30及び支持部13を離間するためのスペーサ20とを設ける。スペーサ20は、表裏一方の面に露光対象30を吸着するための凹部23,24を備え、他方の面から該凹部に貫通した吸引用貫通孔27を有する板状部材であることが望ましい。

請求項（抜粋）：

光源と、露光対象を所定の位置に保持するための支持部とを備える露光装置において、上記露光対象と上記支持部とを離間するためのスペーサを備えることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

G03F 7/20 521 ,  H01L 21/68 P ,  H01L 21/30 515 G

Fターム (16件)：

5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA13 ,  5F031HA13 ,  5F031HA53 ,  5F031KA06 ,  5F031KA07 ,  5F031KA15 ,  5F031MA24 ,  5F031MA27 ,  5F031PA07 ,  5F046BA03 ,  5F046CC01 ,  5F046CC08 ,  5F046CC10 ,  5F046CC11

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ドリップ吸収材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-080855   出願人：イースタン・トレーディング株式会社