特許

J-GLOBAL ID：200903053335519649

走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置

発明者： 前田 達哉
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-322396
公開番号（公開出願番号）：特開平7-176285
出願日： 1993年12月21日
公開日（公表日）： 1995年07月14日
要約：

【要約】【目的】 自動焦点合わせ機構による合焦点位置と異なる高さ位置に自由に焦点を合わせることができるようにする。【構成】 対物レンズ3によって集束された電子線1で試料4を走査するとき試料から発生される電子信号14または画像信号を用いて焦点評価値を演算し、該焦点評価値に基づいて対物レンズに流す励磁電流を制御する自動焦点合わせ機構10を含む走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置において、焦点補正値登録装置12と、前記自動焦点合わせ機構によって判定された合焦点位置に対し焦点補正値登録装置に登録された補正値だけ焦点位置を補正する手段を備える。

請求項（抜粋）：

対物レンズによって集束された電子線で試料を走査するとき試料から発生される電子信号を用いて焦点評価値を演算し、該焦点評価値に基づいて対物レンズに流す励磁電流を制御する自動焦点合わせ機構を含む走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置において、焦点補正値登録装置と、前記自動焦点合わせ機構によって判定された合焦点位置に対し焦点補正値登録装置に登録された補正値だけ焦点位置を補正する手段を備えることを特徴とする走査電子顕微鏡の自動焦点合わせ装置。

IPC (3件)：

H01J 37/21 ,  H01J 37/141 ,  H01J 37/22 502

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平3-252035
  
• 特開平3-246407
  
• 特開平3-252035
  
• 特開平3-246407