特許

J-GLOBAL ID：200903053341613665

多重薄膜形成装置

発明者： 武田 重喜
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-195237
公開番号（公開出願番号）：特開2003-014423
出願日： 2001年06月27日
公開日（公表日）： 2003年01月15日
要約：

【要約】【課題】複雑な特性の多キャビティ型多層光学薄膜フィルタを形成する多重薄膜形成装置を実現する。【解決手段】多重の薄膜を形成する膜形成手段と、この膜形成手段によって複数の膜が形成されるデバイスに波長の異なる3つ以上の光信号を入射させる手段と、上記デバイスを透過あるいは反射した光信号を検波する手段と、検波した光信号と予め記憶したマスタパターンとを比較する手段を有し、上記検波した光信号がマスタパターンと一致した場合に次の成膜工程に移行するようにして多重薄膜形成装置を構成する。

請求項（抜粋）：

多重の薄膜を形成する膜形成手段とこの膜形成手段によって複数の膜が形成されるデバイスに波長の異なる3つ以上の光信号を入射させる手段と、上記デバイスを透過あるいは反射した光信号を検波する手段と、検波した光信号と予め記憶したマスタパターンとを比較する手段を有し、上記検波した光信号がマスタパターンと一致した場合に次の成膜工程に移行するようにしたことを特徴とする多重薄膜形成装置。

IPC (4件)：

G01B 11/06 ,  C23C 14/54 ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28

FI (4件)：

G01B 11/06 Z ,  C23C 14/54 C ,  G02B 5/26 ,  G02B 5/28

Fターム (24件)：

2F065AA30 ,  2F065BB17 ,  2F065CC31 ,  2F065DD09 ,  2F065FF44 ,  2F065GG21 ,  2F065QQ38 ,  2F065RR08 ,  2H048FA05 ,  2H048FA07 ,  2H048FA09 ,  2H048FA13 ,  2H048FA24 ,  2H048GA04 ,  2H048GA11 ,  2H048GA43 ,  2H048GA60 ,  2H048GA62 ,  4K029BA46 ,  4K029BA48 ,  4K029BB02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD00 ,  4K029EA01