特許

J-GLOBAL ID：200903053341888680

モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置、および、モータ駆動方法

発明者： 島村 尚孝
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-231956
公開番号（公開出願番号）：特開2003-047285
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月14日
要約：

【要約】【課題】 モータの推力リップルをさらに低減できるマルチアンプ方式のモータ駆動装置などを提供する。【解決手段】 複数のコイル23aを備えたモータ23を駆動するモータ駆動装置22において、入力信号に略比例した出力信号を生成する電流制御部22aを複数有し、複数の電流制御部22aにより各々生成された出力信号を複数のコイル23aの各々に供給する供給部(22a,22a...)と、複数の電流制御部22aどうしの出力信号のばらつきを補正する補正部(22b,22b...)とを備える。

請求項（抜粋）：

複数のコイルを備えたモータを駆動するモータ駆動装置において、入力信号に略比例した出力信号を生成する電流制御部を複数有し、前記複数の電流制御部により各々生成された前記出力信号を前記複数のコイルの各々に供給する供給部と、前記複数の電流制御部どうしの前記出力信号のばらつきを補正する補正部とを備えたことを特徴とするモータ駆動装置。

IPC (4件)：

H02P 7/00 101 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H02P 7/00 101 B ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 503 B

Fターム (16件)：

5F046BA04 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC17 ,  5H540AA10 ,  5H540BA05 ,  5H540BB07 ,  5H540BB08 ,  5H540BB09 ,  5H540EE05 ,  5H540EE06 ,  5H540EE08 ,  5H540EE13 ,  5H540EE15 ,  5H540FA14 ,  5H540FC02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ブラシレスモータおよびこれを用いた位置決めテーブル装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-017095   出願人：キヤノン株式会社
• 交流電動機速度制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-345078   出願人：株式会社東芝