特許
J-GLOBAL ID：200903053343871009
蒸着方法および蒸着装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 秀策
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-148337
公開番号（公開出願番号）：特開平10-330918
出願日： 1997年06月05日
公開日（公表日）： 1998年12月15日
要約：
【要約】【課題】 スプラッシュの発生が無く、且つ生産性に優れた有機材料の蒸着方法および蒸着装置を提供する。【解決手段】 真空中において、有機材料を表面に保持した繊維を加熱部に連続的に供給する工程と、該有機材料を保持した繊維を加熱し、該有機材料を気化する工程と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含する、蒸着方法。
請求項（抜粋）：
有機材料を表面に保持した繊維を加熱部に連続的に供給する工程と、該有機材料を保持した繊維を加熱し、該有機材料を気化する工程と、該気化された該有機材料を基体の表面に堆積させる工程と、を包含し、該供給工程と、該気化工程と、該堆積工程とは真空中で行われる蒸着方法。
IPC (2件)：
FI (3件)：
C23C 14/12
, C23C 14/24 V
, C23C 14/24 D
